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第二五三章 PECVD设备

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鞠躬感谢(稻草人)大大100的打赏。

这两天在忙活公司营业执照年审,所以更新可能有点不正常,还请谅解。

实际上,在前世tft-lcd液晶面板生产线中应用的cvd技术和设备最多的是pecvd,也就是等离子增强化学气相沉积法,因为无论是常压化学气相沉积法,还是低压化学气相沉积法,在实际应用中的用处都不是很大,这主要是因为后世的tft-lcd液晶面板所用的玻璃基板大都是碱性玻璃的缘故,因为无论是常压化学气相沉积法还是低压化学气相沉积法,在镀膜的时候都不适用于碱性玻璃,虽说在前几代线的时候还能用得上,但随着技术的不断发展,这两种cvd技术的局限性就凸显了出来,毕竟这两种技术只能单独的针对某一个镀层,因此在后几代线中,这两种cvd技术和设备基本上就用不到了

而等离子增强化学气相沉积法则没有这种局限性,最关键的是,这tft-lcd液晶面板制程中所需要的四层非金属镀膜,都能够用pecvd来解决,因此在前世,5代线之后的cvd设备,大都是采用pecvd技术而制造的cvd设备了。

当然在目前,除了李想知道这个事情之外,其他的人还并不知道这种¤≥,事情,因此包括曰本人在内,都认为这三种cvd技术是必不可少的。不过,这次李想倒是发了善心,毕竟小曰本这次很大方,不仅同意了原本计划中的2代线,而且还附带了一条玻璃基板生产线,同时小曰本还同意从未来实业采购cvd设备。最关键的是,据李想所知,小曰本在得到了那三套cvd技术之后,立刻就开始组织相关人员进行技术攻关,试图自己来制造cvd设备,只不过小曰本似乎并不知道pecvd才是最关键的设备,因此他们是三种设备一起研发,导致了整体研发进程的缓慢。

技术是技术,要把技术转化成为真正的产品,并不是那么容易就能做到的。

正是因为如此,李想才难得的发了一次善心,打算直接将pecvd设备卖给小曰本。毕竟以小曰本的实力而言,早晚也会发现其他两种cvd技术的不足之处,从而开始专心钻研pecvd技术。这是早晚的事情,不过再晚,小曰本也会走到前世的道路上去的。

前世世界上最大的两家cvd设备制造商,一个是美国应材公司下属的曰本子公司akt,一个也是同样来自于曰本的曰本真空技术株式会社,也就是ulvac。这两个公司一个世界排名第一,一个世界排名第二,几乎垄断了全球的cvd设备制造,由此可见小曰本的实力还是非常强大的。

反正这辈子华夏也要和曰本以及棒子国争夺tft-lcd行业的霸主地位,而且现在华夏落后曰本并不远,所以李想干脆也不玩那些虚的了,直接就在2代线上主推出pecvd设备。基于其他两种技术的cvd设备李想同样也会拿出来的,至于小曰本怎么选择,那就是小曰本你们自个儿的事情了,别到时候给小曰本留下什么把柄。

咱三种设备都有,而且给你们推荐的是pecvd设备,你们非要自个儿全都买,等你们发现其他两种cvd设备不是很实用之后,那可就别怪哥们了。谁让你们不听哥们的推荐呢!

当然,pecvd设备的售价也要比其他两种cvd设备的售价稍微高上那么一点儿。其他两种cvd设备的售价均为1000万美元一套,而一台pecvd设备的售价是1100万美元!

相比于pecvd设备,另外两种cvd设备无疑要简单了一些,因此只要能够制造出合格的pecvd设备来,那么另外两种设备自然是手到擒来的事情。所以,李想和宏达电子机修部的主任刘志这次来到一机床,拿的就是pecvd设备的图纸。

一台pecvd设备的个头是相当大的,也是所有三种设备中个头最大的。李想拿出来的这套设计图纸,如果一机床能够造出来的话,那么这个大家伙将会拥有7.8米的宽度,10.8米的长度以及3.2米的高度,而它的总重量也会达到恐怖的53吨!

这个尺寸说起来有些模糊,换算成一下实际的,那就是大家伙儿应该都见过平房吧,就是那种宽3.5米,长大概在5.5米左右的平房,差不多四间这么大的平房才能够摆下这么一个大家伙!

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